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难上加难,迎难而上,怎么解决高端芯片制造难

来源:常山信息港 发表时间:2020-12-31 19:08
网上曾有人提出一个大胆的想法:技术不够钱来凑,买下台积电,实现弯道超车。但很快又有人泼了一盆冷水:没有荷兰企业阿斯麦(ASML)的光刻机,台积电也无法保持芯片制造业领先地位。
阿斯麦,高端光刻机龙头,市场占有率超过 60%,目前全球最先进的 EUV(极紫外)光刻机只有阿斯麦才能生产。就在 12 月初,比利时微电子研究中心(IMEC)总裁透露,阿斯麦已经完成 1nm 光刻机的设计工作,预备在 2022 年实现商业化。从当下最先进的 5nm,到阿斯麦雄心勃勃想实现量产的 1nm,「摩尔定律不死」的旗帜仿佛压在了阿斯麦身上,因为光刻机市场上尚能一战的尼康、佳能早就放弃了摩尔定律、停止开发 EUV 设备。随着高端芯片产能向 EUV 设备转移,阿斯麦在业内的地位也越来越高。
 
那么,阿斯麦究竟是怎样的企业?这样一家对信息产业至关重要的企业,又是如何在荷兰,这个面积还没河南省三分之一大的国家成长起来的呢?
 
01
 
难上加难,迎难而上
 
登月和造光刻机相比,谁更难?如果这么问阿斯麦的董事长,他大概会苦笑着反问:一个 1969 年就已经被解答的问题,和一个几十年来越解越难的问题,你认为谁更难?
 
给芯片制造业提出这个大难题的人,叫戈登·摩尔。1965 年,他提出最多在 10 年内,集成电路的集成度就会每两年翻一番,后来大家又把这个周期缩短到 18 个月,于是一个芯片产业最重要的「自我实现」的预言产生了:摩尔定律。
 
1968 年,戈登·摩尔和罗伯特·诺伊斯合伙创办的英特尔公司成立,但这家公司一直被业内认为是二流企业。直到 1970 年代末,英特尔的 16 位 8086 处理器被 IBM 直接用到个人电脑(PC)上,英特尔这才名声大噪。
 
1984 年,苹果发布第一台 Macintosh,「车库创业」的鼻祖惠普公司推出一体式电脑,大学生米高·戴尔开始创业,日后全球最大的电脑企业之一戴尔公司,当时只是个「攒电脑」的小店。这一年,计算机走进家庭的时代来临了,芯片制造业的金矿才刚刚挖开一角。
 
第一台 Macintosh:Say hello to the world
 
也是这一年,荷兰最大的私营企业飞利浦决定,把投资大、回报周期长的光刻机制造部门剥离出来,找个搭档分担风险、共同创业。找了一圈,找到一家叫 ASM International 的公司,飞利浦决定和这家公司对半持股,新成立的光刻机制造公司就是阿斯麦。
 
从诞生到发展为全球最大的高端光刻机制造商,阿斯麦的成长经历充分诠释了什么叫:难上加难,却还要迎难而上。
 
虽然有两家大公司做后盾,但荷兰,乃至整个欧洲的光刻机制造都是从零开始,没有技术,也没有市场。阿斯麦整个公司只有 45 个人,他们最初只做一件事,烧钱。
 
那段日子,阿斯麦备受质疑。1980 年以前,美国 GCA 公司的步进式光刻机产品独树一帜,垄断 90% 的市场份额,而从 1980 年开始,在日立、NEC、SONY、东芝等半导体制造大厂的支持下,尼康、佳能很快就超过 GCA,成为光刻机市场新霸主。阿斯麦偏居荷兰,总部位于费尔德霍芬,一个人口只有 4 万的小镇,怎么和拥有一条完整产业链的日本企业竞争?
 
阿斯麦能做的,只有让钱烧得更值一点。
 
第一代产品太粗糙,卖不出去,阿斯麦找来德国光学大企业蔡司帮忙改进。第二代稍微好了一点,阿斯麦立马派人去半导体大本营美国硅谷推销,以低价促销量,在硅谷混个脸熟,挤进了由英特尔、 IBM 、摩托罗拉等巨头企业成立的 EUV 技术联盟,兢兢业业跟在巨头后面研究 EUV 技术。
 
1995 年,时任美国总统克林顿推出「信息高速公路计划」,半导体市场一片红火,阿斯麦趁机在荷兰阿姆斯特丹和美国纳斯达克同时上市。这一年,通过持续的技术改革配合营销,阿斯麦终于能有 14% 的市占率了。
 
一个小透明企业怎么在山头林立的半导体产业活下来?除了一刻不停地改进技术,挖深护城河,还要引进活水,把这条河用起来。
 
02
 
埋头创新,灵活转向
 
最关键的转折出现在 21 世纪头几年。
 
光刻机关键技术的提升,依赖 3 个指标:综合因素 k1,波长 λ,镜头数值孔径 NA,但 k1 和 NA 的改进空间有限,各大光刻机厂商能拉开竞争差距的只有波长 λ。
 
彼时,尼康、阿斯麦都选好了各自前进的技术路径:尼康决定搏一搏 0.004nm (EPL)的波长,而阿斯麦坚定站在 13.5nm (EUV)阵营这边,顺带收获了好盟友,崛起中的代工大咖台积电。
 
台积电是芯片制造业的下游企业,客户都是电子产品制造商,深受「反摩尔定律」困扰。所谓反摩尔定律,不是说要推翻摩尔定律,而是从企业收益的角度,反过来看摩尔定律——如果一个 IT 公司今天和 18 个月前,卖掉同样数量、同样质量的产品,它的营业额就要降一半。
 
这就逼着硬件公司的迭代速度,必须跟上摩尔定律的更新速度。
 
2002 年,台积电的林志坚博士提出一个设想:在晶圆光刻胶上面加水,利用光的折射,把业界最熟悉的 193nm 光波长变为 134nm。这个设想被称为「浸入式 193nm 方案」,虽然和阿斯麦苦苦追求的 EUV 不是一个路子,却是成本更低、技术上更容易实现的操作。
 
凭借和台积电的好关系,阿斯麦迅速设计、生产出浸入式(DUV)光刻机,并送入台积电厂区试验。最终,台积电成为第一家实现浸入式量产的公司,而阿斯麦也收获了看家产品。
 
在不断改进高 NA 镜头、光刻胶、多光照等技术的基础上,阿斯麦把光刻机使用的波长从英特尔时代的 193nm ,降低到 22nm ,并成功开发出 EUV 光刻机,实现 7nm、 5nm 芯片的量产。
 
正是因为长期卡在 193nm 无法前进,英特尔才被称为「牙膏厂」
 
阿斯麦渐进式改革的成功,同时也意味着尼康的失败。
 
当时, 13.5nm 波长对于全球来说都是不可逾越的障碍,更何况尼康全力以赴的 0.004nm ,光刻机的量产所追求的不仅仅是技术领先,还有量产的时间领先。尼康追求的跨度太大,所需要的时间、财力都不是渐进式发展的浸入式光刻机能比拟的。
 
当台积电已经将浸入式光刻机投入使用,不断给阿斯麦提供测试和改进数据时,尼康仍然执着于不成熟的产品,只能眼看着客户逐渐流失。至于原本的种子选手佳能,还在坚信一款好产品可以卖很久,300多、 200多 nm 的芯片仍然是主打产品。日本半导体产业链已不复 1980、 1990 年代的荣光。
 
反观阿斯麦,2001 年,为了拿到一些关键技术专利,阿斯麦四处筹钱,买下美国 SVG 光刻机公司,借机真正跻身美国半导体产业链上游。为了更专注搞研发,阿斯麦推出一项「股东优先购买计划」:新品研发成功后,阿斯麦的股东企业们有优先购买权,换句话说,阿斯麦的客户们要想提前享受新技术的红利,就必须拿出真金白银作为支持。
 
于是到 2009 年,智能手机浪潮出现时,阿斯麦已经是全球最大的光刻机设备供应商了——高通的芯片,不论是交给三星还是台积电代工,所使用的光刻机,都来自阿斯麦。它们之间的关系是买家与卖家、股东和企业,更是紧密联系的盟友。
 
数十年来,摩尔定律正如滚滚车轮,总有企业被无情抛下,像阿斯麦这样能埋头创新,也能灵活转向的企业,实在不多。
 
03
 
号准时代的脉搏
 
从一个年年亏钱的分拆部门发展为光刻机巨头,阿斯麦的成功,既包含了公司整体的不懈努力,更包含了半导体整个行业巨大的推动力。
 
除了技术追求,阿斯麦最值得称赞的是其产品开发模式。
 
光刻机是一种非常复杂的机械,拿业内交口称赞的 EUV 光刻机来说,每台设备含有超过 10 万个零部件、 4 万多个螺栓,总重量超过 180 吨,体积相当于一辆双层大巴。光刻机这么复杂,阿斯麦却选取了一种相对简便的办法来应对拆分、运输、安装和修理:模块化。
 
简单来说,就像小孩子拼积木一样,按照各种标准,把零部件分为几类,分别拆解,专人负责。如此一来,从接受客户订单,到设备交付、调试,所需时间大幅度缩减。
 
阿斯麦还利用模块化,把制造业「升级」成了服务业——通过不同模块的组合,阿斯麦能根据客户要求,量身定做合适的产品。每次产品更新,阿斯麦设计人员都尽量在既有产品的基础上,尽量改动较少模块,实现更大的功能升级,延长设备使用寿命,降低客户成本。这一点从创业开始就开始实施了,第二代光刻机至今还有厂商在用,阿斯麦仍在提供服务。
 
此外,阿斯麦的成功也离不开对行业趋势和市场动态的觉察。
 
与台积电的成功合作,只是阿斯麦重视行业趋势的一个例子。在半导体市场上,阿斯麦比日本、美国公司都更早进入「代工」半导体产业,台积电、三星、海力士等芯片企业都在阿斯麦的交好范围内,这种「交好」不是高层互相走访、发发新闻,也不仅限于金钱支持,还包括阿斯麦长期派专人驻厂,学习、配合代工企业的特性。至于该用什么样的速度推陈出新,也是阿斯麦长期「潜伏」在各大协会,听取大量下游企业的意见和需求得出的结果。
 
因为诞生在荷兰这个面积不大、市场很小的国家,阿斯麦从一开始,就只能走出去,正视巨头的压力,谋求更多支持。这是「先天不足」,阿斯麦却把它变成了「后天特色」。
 
这两年「卡脖子」成为一个热词,尤其是芯片行业,大家总是惊呼怎么这也不行,那也不行。然而,一个产业的好与坏,从来不仅仅维系在一两个企业身上,正如阿斯麦,它的成功背后是全球半导体产业几十年的辉煌在奔涌。当这浪潮拍打过来,任何企业想站上潮头,必得有莫大的决心,和一艘千万人为之奋斗的、坚实的船。
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